佐賀大学理工学部 大津康徳教授 分担執筆「半導体プラズマプロセス技術の制御と計測・モニタリング」が出版

佐賀大学理工学部 大津 康徳 教授が分担執筆された、専門書「半導体プラズマプロセス技術の制御と計測・モニタリング ～可視化・異常検知・高精度プロセス最適化～」（技術情報協会）が2026年6月30日に出版されました。本書は、大学の学部上級以上の学生を対象として、半導体プラズマプロセス研究分野における制御と計測に関するトピックについて、第一線の研究者らが分担して執筆した解説書です。大津教授は第7章第7節「ホロー電極を用いた高周波プラズマの高密度化とレジスト剥離の高速化」を担当されました。

半導体プラズマプロセス技術の制御と計測・モニタリング
～可視化・異常検知・高精度プロセス最適化～
出 版 社：技術情報協会
ISBN：978-4-86798-156-6

参照元：佐賀大学理工学部
大津 康徳 教授が分担執筆した「半導体プラズマプロセス技術の制御と計測・モニタリング」が出版されました
https://www.se.saga-u.ac.jp/news/topics/topics_202607082014430000.html