佐賀大学共同「第3世代酸化ガリウム100mmエピウエハー」開発に成功

NEDOの「戦略的省エネルギー技術革新プログラム」において「β-Ga2O3ショットキーバリアダイオードの製品化開発」に取り組む、株式会社ノベルクリスタルテクノロジーは、このたび佐賀大学と共同で第3世代酸化ガリウム100mmエピウエハーを開発しました。この開発では、エピウエハー製造技術を改良し、酸化ガリウムパワーデバイスの大電流化を阻害していた耐圧特性を劣化させる欠陥（キラー欠陥）を従来の10分の1に低減させました。
本開発の成果により、電車や産業機器、電気自動車などの100A級のパワーデバイスが求められる市場に酸化ガリウムパワーデバイスを広く展開することが可能となり、省エネルギー化とともにカーボンニュートラルの実現に向けた大きな前進が期待できます。
詳しくは下記をご覧ください。

参照元：佐賀大学広報室
キラー欠陥を従来の10分の1に低減した 第3世代酸化ガリウム100 mmエピウエハーの開発に成功 ―100 A級酸化ガリウムパワーデバイスの実現が可能に―
https://www.saga-u.ac.jp/koho/press/2022031423958